ISO Class 5 cho nhà máy chip: giới hạn hạt bụi ≥0,5µm là gì
3 phút đọc ·
Khi đọc hồ sơ kỹ thuật nhà máy điện tử/bán dẫn, "ISO Class 5" (hay "Class 100" theo hệ cũ) xuất hiện thường xuyên như một ngưỡng sạch quan trọng. Con số này nghĩa là gì, khắt khe tới đâu, và ảnh hưởng thế nào tới việc chọn đồ bảo hộ? Bài này giải thích cho kỹ sư và mua hàng.
1. ISO Class 5 nghĩa là gì?
Theo ISO 14644-1, phòng sạch được phân cấp theo số hạt tiểu phân tối đa cho phép trên mỗi mét khối không khí, theo từng ngưỡng kích thước. ISO Class 5 giới hạn:
- ≤ 3.520 hạt ≥ 0,5 µm trên mỗi m³ (đây là ngưỡng hay được trích nhất)
- cùng các giới hạn chặt hơn cho hạt nhỏ hơn: ≤ 100.000 hạt ≥ 0,1 µm; ≤ 10.200 hạt ≥ 0,3 µm/m³.
ISO Class 5 tương đương "Class 100" theo hệ Mỹ FED-STD-209E cũ (100 hạt ≥ 0,5 µm mỗi foot khối).
2. Khắt khe tới đâu? (so với Class 7, 8)
Nhìn theo ngưỡng ≥ 0,5 µm để thấy khoảng cách giữa các cấp:
| Cấp sạch | Hạt ≥ 0,5 µm tối đa /m³ | Thường thấy ở |
|---|---|---|
| ISO Class 5 (Class 100) | 3.520 | Lắp ráp bán dẫn, khu tới hạn điện tử |
| ISO Class 7 (Class 10.000) | 352.000 | Lắp ráp điện tử phổ thông, pha chế dược |
| ISO Class 8 (Class 100.000) | 3.520.000 | Đóng gói, khu phụ trợ |
Chênh lệch 100 lần giữa Class 5 và Class 7 — ISO Class 5 sạch hơn rất nhiều, đòi hỏi lọc HEPA/ULPA, luồng khí một chiều và kiểm soát con người nghiêm ngặt.
Lưu ý: khu tới hạn nhất của nhà máy chip (quang khắc) còn sạch hơn nữa, tới ISO Class 1-3 — xem phòng sạch bán dẫn là gì. ISO Class 5 là ngưỡng phổ biến cho nhiều khu lắp ráp và hỗ trợ.
3. ISO Class 5 đòi hỏi đồ bảo hộ gì?
Ở mức 3.520 hạt/m³, con người là nguồn phát hạt lớn nhất phải kiểm soát chặt:
- Quần áo liền thân ít phát bụi, che kín (mũ + ủng liền); khu điện tử dùng bản ESD sợi carbon.
- Găng tay không bột hoặc ESD; khẩu trang non-woven.
- Mũ trùm, bọc giày và khăn lau không xơ cho vệ sinh bề mặt.
- Khu điện tử: thêm yêu cầu chống tĩnh điện ESD.
Câu hỏi thường gặp
ISO Class 5 cho phép bao nhiêu hạt bụi?
Theo ISO 14644-1, ISO Class 5 cho phép tối đa 3.520 hạt kích thước ≥ 0,5 µm trên mỗi mét khối không khí (cùng các giới hạn chặt hơn cho hạt nhỏ hơn). Đây tương đương "Class 100" của hệ FED-STD-209E cũ.
ISO Class 5 và Class 100 có phải là một?
Về cơ bản là tương đương: ISO Class 5 theo ISO 14644-1 tương ứng Class 100 theo FED-STD-209E (đã rút năm 2001). Tài liệu mới dùng ISO Class; nhiều nhà máy vẫn quen gọi "Class 100".
Nhà máy chip có phải lúc nào cũng cần ISO Class 5?
Không đồng đều. ISO Class 5 phổ biến cho nhiều khu lắp ráp và hỗ trợ, nhưng khu tới hạn nhất (quang khắc) cần sạch hơn (ISO Class 1-3), còn khu phụ trợ có thể chỉ cần Class 7-8. Cấp sạch được quy định theo từng khu vực trong nhà máy.